FGL（RTP）系列滑轨式管式炉(T max 1100℃)
滑轨式管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求，通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度，然后移动到样品处，达到快速升温的效果。适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。
特点
- 工作温度RT～1000℃
- 智能程序控温仪控制精准,可编辑、储存并调用多段程序
- 采用陶瓷纤维FEC加热模块，电阻丝内嵌式环绕加热
- 炉壳结构，双层炉壳风冷结构
- 不锈钢双层密封法兰，进、出气美标针阀
- 两端可调节式法兰支撑结构，延长石英管的使用寿命
- 超温保护功能，当温度超过允许设定值自动断电
- 安全保护当炉体漏电时自动断电
额外选配
- 炉内测量系统（氧含量检测系统、温度检测系统）
- 真空系统（旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组）
- 气氛系统（浮子流量计、质量流量计）
- 监控系统（温度记录仪、触摸屏远程监控）
- 注：选件需配置拓展柜体
技术参数
设备型号
最高温度
管径
加热区
温区数
热电偶类型
电压
功率
FGL(RTP)-40/11/1
1100℃
40mm
320 mm
1个
K型
220V
3.0KW
FGL(RTP)-50/11/1
1100℃
50mm
320 mm
1个
K型
220V
FGL(RTP)-60/11/1
1100℃
60mm
320 mm
1个
K型
220V
FGL(RTP)-70/11/1
1100℃
70mm
320 mm
1个
K型
220V
FGL(RTP)-80/11/1
1100℃
80mm
320 mm
1个
K型
220V
注：给出的最高温度为工作管外测定，其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制
网址：
销售热线： 0551-67166660 0551-67166661 13966718548 方先生
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